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探針檢測設備是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
編號 品牌 鴻圓 備注
1 型號 HY-FB-44H
2 外形尺寸 1900*2100*1000(mm)
3 設備精度 ±0.05 mm 不含來料誤差
4 良率 99.5%
5 設備功率 1.5KW
6 使用氣壓 0.4MP-0.7MP
7 電源參數 220V/50HZ
概述 ：在集成電路產業鏈中,集成電路測試是惟一一個貫穿集成電路生產和應用全過程的產業.如果集成電路設計沒有通過原型的驗證測試,就不可能投入量產;量產中,晶圓片如果沒有通過探針測試臺的中測,就無法在下一個工序中進行封裝;而封裝后的成品測試(成測)又是集成電路產品的最后工序,只有測試合格的電路才可能作為正式的集成電路產品出廠.該設備主要是對金屬探針進行多功能檢測，旋轉平臺由分割器組成，分為六工位，通過人工上料， 進行壓力檢測，阻抗檢測，鉚壓口檢測，不良品剔除等特性檢測。 通過這樣的模塊化設計，有利于提高工作效率
。
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